HORIBA晶圆背面冷却系统压力控制器GR-312介绍

2025-11-05 08:00

HORIBA GR-300系列晶圆背面冷却系统压力控制器GR-312

上海进佳科学仪器有限公司位于上海浦东新区，致力于为高科技行业提供流量控制与过程连接解决方案。公司与国际知名品牌如美国KING、Dwyer、日本HORIBA等保持长期合作，其中HORIBA已代理15年。今天，我们将介绍HORIBA GR-300系列中的核心产品：晶圆背面冷却系统压力控制器GR-312。

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产品概述：HORIBA GR-300系列晶圆背面冷却系统压力控制器GR-312

德彩网7999HORIBA GR-300系列晶圆背面冷却系统压力控制器GR-312专为控制用于冷却晶圆背面的气体而设计。通过静电卡盘系统，晶圆被安全固定到位。GR-312的稳定性和精确性使其成为控制晶圆冷却系统中氦气和氩气流量的理想选择。

HORIBA GR-312产品图

核心技术参数解析：HORIBA GR-312

HORIBA GR-312的核心优点在于其压力控制的稳定性和精确性。即使在压差非常低的情况下，GR-312仍能使用精度压电阀来控制压力。该产品安装了精度的压力传感器，能够测量<1%F.S范围内的出口压力。此外，质量流量传感器（可选）也可用于气体流量监测，实现自诊断功能。

典型应用场景：HORIBA GR-312

德彩网7999HORIBA GR-312广泛应用于半导体制造领域，尤其是在晶圆加工过程中。通过应用HORIBA STEC成熟的流体控制技术，GR-312能够实现微小差压控制，这对于精密半导体制造过程至关重要。此外，该产品符合RoHS标准，使用环保材料，确保对环境无害。

优势亮点总结：HORIBA GR-312

HORIBA GR-312的优势在于其精确的压力控制和稳定性。它采用成熟的流体控制技术，确保在不同操作条件下的一致性能。通过添加气体流量监测功能，GR-312不仅能够监测流量，还能提供自诊断功能，进一步提高系统的可靠性。此外，符合RoHS标准意味着该产品在使用过程中不会对环境造成危害。

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